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RTP快速退火爐

發(fā)布時(shí)間:2017-11-15 14:35:09  瀏覽次數(shù):22485

快速退火爐簡稱 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),不但擁有非常快的升溫速率,而且在燒結(jié)工藝運(yùn)行完結(jié)后,直接將試樣移動(dòng)至室溫下,實(shí)現(xiàn)物理狀態(tài)下的快速降溫。設(shè)備采用了內(nèi)管進(jìn)氣、外管出氣的氣路結(jié)構(gòu),使得反應(yīng)氣氛與加工樣品充分而均勻地接觸。退火爐是CVD法生長大尺寸二維石墨烯的常用設(shè)備。測溫元件直接和試樣接觸,保證試樣溫度的準(zhǔn)確性。

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設(shè)備簡介:

快速退火爐簡稱 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),不但擁有非??斓纳郎厮俾?,而且在燒結(jié)工藝運(yùn)行完結(jié)后,直接將試樣移動(dòng)至室溫下,實(shí)現(xiàn)物理狀態(tài)下的快速降溫。設(shè)備采用了內(nèi)管進(jìn)氣、外管出氣的氣路結(jié)構(gòu),使得反應(yīng)氣氛與加工樣品充分而均勻地接觸。退火爐是CVD法生長大尺寸二維石墨烯的常用設(shè)備。測溫元件直接和試樣接觸,保證試樣溫度的準(zhǔn)確性。







配置詳情

設(shè)備特點(diǎn)

1、雙層鋼結(jié)構(gòu);

2、高純度Al2O3纖維耐火保溫材料,最大節(jié)約能源;

3、耐火陶瓷上的高純度氧化鋁涂層可延長使用壽命;

4、氧化鋁管塞可幫助您在管內(nèi)建立自定義的溫度梯度;

5、該設(shè)備是國家專利保護(hù)產(chǎn)品,專利號(hào):CN201310005931.6。

產(chǎn)品型號(hào)

NBD-HR1200-110TI

電氣規(guī)格

AC380V   15KW

可達(dá)溫度

1100 ℃(長時(shí)間使用必須外接水冷裝置)

長期使用溫度范圍

300~1150℃ (連續(xù)使用必須外接水冷裝置)

可達(dá)加熱速率

建議≤ 100 ℃/S

加熱區(qū)長度

200mm

傳感器類型

S型單鉑銠

反應(yīng)腔室內(nèi)徑尺寸

Φ100X200mm

式樣有效空間

3.5"

爐管尺寸

Φ80*120mm

控制系統(tǒng)

1、可預(yù)存15條溫度曲線,避免不同的實(shí)驗(yàn)工藝重復(fù)設(shè)置帶來的麻煩;

2、實(shí)驗(yàn)過程更加直觀,操作更加便捷;

3、NBD-101E嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面,7寸真彩觸屏輸入,智能式人機(jī)對(duì)話模式,非線性式樣溫度修正;

4、具有超溫報(bào)警、斷偶提示、漏電保護(hù)等功能。

溫度精度

+/- 1 ℃

加熱元件

紅外燈管加熱

密封系統(tǒng)

真空度:≤5Pa(機(jī)械泵)

壓力測量與監(jiān)控

采用數(shù)顯真空計(jì),可使設(shè)備爐管內(nèi)的真空度顯示更加直觀,實(shí)驗(yàn)結(jié)果更加準(zhǔn)確。

凈重

90KG

設(shè)備使用注意事項(xiàng)

 1、設(shè)備爐膛溫度≥300℃時(shí),移動(dòng)爐膛后,禁止觸碰原爐膛所在位置的石英管,避免受到傷害;

 2、設(shè)備爐膛溫度≥300℃時(shí),禁止打開爐膛,避免受到傷害;

 3、設(shè)備使用時(shí),爐管內(nèi)壓力不得超過0.125MPa(絕對(duì)壓力),以防止壓力過大造成設(shè)備損壞;

 4、真空下使用時(shí),設(shè)備使用溫度不得超過800℃。

 5、供氣鋼瓶內(nèi)部氣壓較高,向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在選購試驗(yàn)用小壓力減壓閥,減壓閥量程為0.01MPa-0.15MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全。

 6、當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓 相當(dāng),保持在常壓狀態(tài);

 7、高純石英管的長時(shí)間使用溫度≦1100℃

 8、加熱的實(shí)驗(yàn)時(shí),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若絕對(duì)壓力表讀數(shù)大于0.15MPa,必須立刻打開排氣端閥門,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂等)

服務(wù)支持

1年質(zhì)保,提供終身支持(保修范圍內(nèi)不包括易耗部件,例如爐管和O形圈等)


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