項目

設(shè)備技術(shù)指標選擇

設(shè)備型號

加熱系統(tǒng)

晶體生長環(huán)境選擇

氧化氣氛/保護氣氛/真空狀態(tài)

長晶溫區(qū)選擇

單溫區(qū)200mm /300mm/400mm

雙溫100+100/200+200mm /300+300mm

三溫：200+200+200mm

反應(yīng)腔尺寸選選擇

Φ50/Φ60/Φ80/Φ100（更多選擇聯(lián)系客服）

主控最高工作溫度

1150℃/1650℃

控溫精度

300~1150±0.5℃

主控爐膛材料

高純多晶纖維復合耐火保溫層

主控爐膛模式

環(huán)形加熱整體密閉

密封方式

水冷不銹鋼密封法蘭

提拉系統(tǒng)

長晶模式選擇

坩堝下降法 /坩堝平移法

物料裝載模式

上吊裝下推進模式/下裝載模式

晶體運動方式選擇

坩堝只移動/ 坩堝移動并旋轉(zhuǎn)

結(jié)構(gòu)

雙層滑軌結(jié)構(gòu)，C7大力距滾珠絲杠，SPY鋁托硬光軸直線導軌

長晶進給系統(tǒng)

伺服進給高精度運行平穩(wěn)，大扭矩諧波減速進給速度30μm/h~30000μm/h可調(diào)，物料下推進運動模式，無旋轉(zhuǎn)

裝料密封方式

電動密封法蘭

裝料密封電機

57CM23閉環(huán)步進電機，平穩(wěn)高速

供氣系統(tǒng)

流量計選擇

1/2/3路質(zhì)子子流量計100sccm ?200sccm ?,500sccm

氣路管芯

專用不銹鋼氣體管道（1/4"）

調(diào)節(jié)閥類型

手動調(diào)節(jié)閥

管道常態(tài)

常閉

測量精度

±1.0%F.S

線性度

±0.5%F.S

重復精度

±0.2%F.S

壓力范圍

-0.1-0.15?MPa

響應(yīng)時間

2S

工作環(huán)境溫度

(15～50℃)

精度保證溫度

(15～35℃)

真空系統(tǒng)

真空類型選擇

NBD-4C真空泵/ NBD-103（A） 分子泵系統(tǒng)

真空計類型

數(shù)字真空計/模擬真空計

系統(tǒng)真空

≤5pa ?/2.8*10-3pa

操控系統(tǒng)

操控模式

1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置：動態(tài)顯示設(shè)置曲線，設(shè)備燒結(jié)可預存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設(shè)置；
2、可預約燒結(jié)，實現(xiàn)無人值守燒結(jié)工藝曲線燒結(jié)；
3、實時顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù)，并可導出實現(xiàn)無紙記錄；
4、具有實現(xiàn)遠程操控，實時觀測設(shè)備狀態(tài)；
5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結(jié)全程進行非線性修正

長晶工藝設(shè)置

可預存15組工藝曲線，工藝曲線包括溫度，氣體流量，晶體進給速度（長晶速率），任意調(diào)用；長晶結(jié)束，報警提示，并生成實驗報告導出，（）包含但不限于溫度，氣體流量，進給速率等）

溫度校正

主控控溫溫度和試樣溫度的差值，系統(tǒng)全程進行非線性修正（詢問客戶長晶溫度點，可做特別效驗）

實現(xiàn)功能

可適用于布里奇曼法在真空或氣氛或空氣狀態(tài)生長的各類晶體（坩堝下降法）

系統(tǒng)保護

超溫報警，過流保護，斷偶提示

隨機產(chǎn)品配置

反應(yīng)腔1根 ，鎳鉻鋁吊絲5米 ，說明書1份;隨機工具等。

服務(wù)項目

運輸及保險費，包裝費,安裝及技術(shù)服務(wù)費； 提供12個月質(zhì)保，觸控系統(tǒng)24個月，終身保修