CVD系統(tǒng)O1200-XT22D2F
發(fā)布時間： 2018-11-28 00:39:13 瀏覽次數(shù)：4426
設(shè)備簡介：
化學氣相沉積(CVD)是指化學氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法，是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用非常廣泛的用來沉積薄膜材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。為此我們研發(fā)成套的CVD鍍膜系統(tǒng)，適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環(huán)?？茖W等領(lǐng)域；
| NBD-101E嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機對話模式，非線性式樣溫度修正； | ||||||||
產(chǎn)品型號 | NBD-O1200-XT22（爐管直徑50、60、80、100mm可選） | ||||||||
工作溫度 | ≤1150℃ | ||||||||
加熱區(qū)尺寸 | 200mm+200mm（雙溫雙控） | ||||||||
升溫速率 | ≤20℃/min | ||||||||
電氣規(guī)格 | AC 220V 4KW | ||||||||
氣體系統(tǒng)（可選購） | 流量計類型 | 浮子流量計 | 質(zhì)量流量計 | ||||||
管道示意圖 |
|
| |||||||
進氣接口數(shù)量 | 2、3、4（多路可選） | ||||||||
流量范圍 | 20-250/20-800ml/min(多量程可選) | 50/100/200sccm(多量程可選) | |||||||
工作壓差范圍 | 0-0.15MPa | ||||||||
低真空系統(tǒng)（可選購） | 真空泵型號 | NBD-1.5C | NBD-3C | NBD-4C | |||||
抽氣速率 | 1L/s | 3L/s | 4L/s | ||||||
進排氣口尺寸 | Φ8mm寶塔接頭 | Φ8mm寶塔接頭 | KF16/25 | ||||||
極限壓力 | 1000Pa | 100Pa | 10Pa | ||||||
工作溫度 | 5-40℃ | ||||||||
電氣規(guī)格 | AC220V | ||||||||
高真空系統(tǒng)（可選購） | 真空泵型號 | NBD-103(A) | NBD-103(B) | NBD-103(C) | |||||
抽氣速率 | 110L/s | 600L/s | 700L/s | ||||||
真空測量計 | 復(fù)合真空計 | ||||||||
極限壓力 | 10^-3Pa | 10^-4Pa | 10^-5Pa | ||||||
工作溫度 | 5-40℃ | ||||||||
電氣規(guī)格 | AC 220V | AC 220V | AC 380V | ||||||
* 支持非標定做，更多型號，歡迎來電垂詢400-000-3746 | |||||||||
免責聲明：本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容（包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等），僅供參考。可能由于更新不及時，或許導(dǎo)致所述內(nèi)容與實際情況存在一定的差異，請與本公司客服人員聯(lián)系確認。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾，諾巴迪公司不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息，恕不另行通知。
推薦產(chǎn)品
InP（磷化銦）晶體基片
智能雙溫區(qū)管式爐1500℃
無氧熱浸鍍（淬火）系統(tǒng)
生產(chǎn)型真空氣氛擺振旋轉(zhuǎn)燒結(jié)爐1200℃
20T小型手動冷等靜壓機（300MPa ）
1200℃混合箱/管爐
SiO2（玻璃和單晶）
1200℃大容量智能箱式爐（80L）
銷售熱線： 0371-6320 2801
0371-6320 2805
售后服務(wù)： 0371-6320 2805
蔡永國： 181-0371-5723
高經(jīng)理: 188-3829-0747
黃經(jīng)理: 188-3829-0748
Email： nbd@nbdkj.com
地址：鄭州·新鄭·新華街道竹園8號
- {{item.cat}}
- {{item2.cat}}
- {{ isExpanded[index2] ? '收起' : '更多' }}
電話：400-000-3746