RTP快速蒸發(fā)燒結(jié)爐
發(fā)布時間: 2025-07-23 01:06:36 瀏覽次數(shù):86
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| 主要特點(diǎn)與優(yōu)勢 1. 快速加熱與冷卻 高效加熱:采用鹵素?zé)艋螂娮杓訜崞鞯雀吖β始訜嵩?,可在幾秒到幾分鐘?nèi)將樣品迅速加熱至所需溫度(最高可達(dá)1200℃或更高),顯著縮短了傳統(tǒng)加熱爐所需的升溫時間。 快速冷卻:配備高效的冷卻系統(tǒng)(如水冷夾套或強(qiáng)制空氣冷卻),能夠迅速降低樣品溫度,提高生產(chǎn)效率并減少熱處理對材料結(jié)構(gòu)的影響。 2. 精確的溫度控制 PID智能控溫系統(tǒng):提供高精度的溫度控制,通常溫度波動范圍在±1℃以內(nèi),支持多段程序升溫曲線設(shè)置,適應(yīng)復(fù)雜的工藝需求。 實時監(jiān)控:使用熱電偶或紅外測溫儀實時監(jiān)測樣品表面溫度,確保溫度分布均勻一致。 3. 氣氛控制 多種氣氛選擇:支持真空、惰性氣體(如氮?dú)?、氬氣)、還原性氣體(如氫氣)等多種氣氛條件,滿足不同材料的快速熱處理需求。 可選配精確流量控制系統(tǒng):通過質(zhì)量流量控制器(MFC)精確調(diào)節(jié)反應(yīng)氣體的流量,確?;瘜W(xué)反應(yīng)的最佳條件。 4. 自動化程度高 自動進(jìn)出料系統(tǒng)(可選):實現(xiàn)物料的連續(xù)進(jìn)料和出料,減少人工干預(yù),提高生產(chǎn)效率。 觸摸屏界面:直觀易用的操作界面,便于用戶輸入?yún)?shù)、啟動測試和查看結(jié)果。 數(shù)據(jù)記錄與分析:實時監(jiān)控系統(tǒng),方便用戶追蹤生產(chǎn)過程,并自動記錄關(guān)鍵參數(shù),便于后續(xù)數(shù)據(jù)分析和質(zhì)量控制。 5. 安全防護(hù)措施 過溫保護(hù)裝置:當(dāng)檢測到異常高溫時,系統(tǒng)會自動報警并切斷電源,防止設(shè)備損壞。 緊急停止按鈕:確保操作人員的安全。 氣體泄漏報警系統(tǒng):保障實驗環(huán)境的安全(如果需要使用特殊氣氛)。 | ||
設(shè)備名稱 | 快速蒸發(fā)燒結(jié)爐 | ||
規(guī)格型號 | HR1200-110/20TP2W | ||
供電電源 | AC380V 50HZ | ||
額定功率 | 17KW | ||
控溫精度 | ±1℃ | ||
爐膛加熱元件 | 6支短波紅外線加熱孿管23*11*300mm | ||
保溫管道加熱元件 | 陶瓷外絲加熱管30*50*350mm | ||
傳感器類型 | 爐膛控溫:K型熱電偶φ1*350mm 腔內(nèi)熱電偶:K型鎧裝熱電偶φ8*500mm | ||
爐管規(guī)格 | 石英管φ110*900mm 內(nèi)管石英管φ80*3*445mm | ||
升華區(qū)額定溫度 | 1100℃(常用溫度200-600℃) | ||
預(yù)熱溫區(qū)溫度 | 600℃(常用溫度200-550℃) | ||
推薦升溫速率 | ≤10℃/min | ||
爐膛溫區(qū)尺寸 | Φ170*200mm | ||
爐體尺寸 | 長1440*高516*深505mm | ||
爐體重量 | 約87KG | ||
控制系統(tǒng) | ![]()
| 1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置:動態(tài)顯示設(shè)置曲線,設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線,每條工藝曲線可自由設(shè)置; 2、可預(yù)約燒結(jié),實現(xiàn)無人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié); 3、實時顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù),并可導(dǎo)出實現(xiàn)無紙記錄; 4、具有實現(xiàn)遠(yuǎn)程操控,實時觀測設(shè)備狀態(tài); 5、溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結(jié)全程進(jìn)行非線性修正。 | |
密封系統(tǒng) | ![]() ![]() ![]() | ||
加熱元件 | ![]() | 短波紅外線加熱孿管 | |
弱腐蝕性氣體預(yù)熱器 (可選配) | ![]() | 通體采用316L材料,對于各種氣體以及腐蝕性氣體的預(yù)加熱處理,滿足特殊的工藝需求,最高溫度達(dá)600℃。 | |
設(shè)備使用注意事項 | 1.設(shè)備爐膛溫度≥300℃時,移動爐膛后,禁止觸碰原爐膛所在位置的石英管,避免受到傷害; 2.設(shè)備爐膛溫度≥300℃時,禁止打開爐膛,避免受到傷害; 3.設(shè)備使用時,爐管內(nèi)壓力不得超過0.125MPa(絕對壓力),以防止壓力過大造成設(shè)備損壞; 4.真空下使用時,設(shè)備使用溫度不得超過800℃。 5.供氣鋼瓶內(nèi)部氣壓較高,向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在選購試驗用小壓力減壓閥, 減壓閥量程為0.01MPa-0.15MPa,使用時會更加精確安全。 6.當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓 相當(dāng),保持在常壓狀態(tài); 7.高純石英管的長時間使用溫度≦1100℃ 8.加熱的實驗時,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若絕對壓力表讀數(shù)大于0.15MPa,必須立刻打開排氣端閥門,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂等)。 | ||
服務(wù)與支持 | 一年有限保修,提供終身支持(保修范圍內(nèi)不包括易耗部件,例如處理管和O形圈,請在下面的相關(guān)產(chǎn)品處訂購更換件)。 |
應(yīng)用領(lǐng)域:
半導(dǎo)體工業(yè):用于晶圓退火、氧化物生長、離子注入后的激活等快速熱處理步驟。
新能源:為鋰離子電池電極材料、燃料電池催化劑載體等提供高效能涂層或燒結(jié)處理。
光學(xué)器件:制備抗反射涂層、增透膜等,提升光學(xué)元件的性能。
陶瓷與金屬粉末冶金:用于快速燒結(jié)陶瓷或金屬粉末,形成致密且高性能的材料。
科研實驗:在實驗室中進(jìn)行新材料開發(fā)和性能測試,探索新型熱處理技術(shù)。
推薦產(chǎn)品

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