RTP快速蒸發(fā)燒結(jié)爐

發(fā)布時間: 2025-07-23 01:06:36    瀏覽次數(shù):86

RTP(Rapid Thermal Processing,快速熱處理)快速蒸發(fā)燒結(jié)爐是一種專門設(shè)計用于在極短時間內(nèi)實現(xiàn)材料的高溫處理、燒結(jié)或薄膜沉積的先進(jìn)設(shè)備。它通過精確控制溫度和時間,能夠在避免材料過度擴(kuò)散或變形的同時,實現(xiàn)高效的工藝過程。這種設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、陶瓷燒結(jié)、金屬粉末冶金以及新材料研究等領(lǐng)域。

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產(chǎn)品詳情
應(yīng)用領(lǐng)域
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主要特點(diǎn)與優(yōu)勢

1. 快速加熱與冷卻

高效加熱:采用鹵素?zé)艋螂娮杓訜崞鞯雀吖β始訜嵩?,可在幾秒到幾分鐘?nèi)將樣品迅速加熱至所需溫度(最高可達(dá)1200℃或更高),顯著縮短了傳統(tǒng)加熱爐所需的升溫時間。

快速冷卻:配備高效的冷卻系統(tǒng)(如水冷夾套或強(qiáng)制空氣冷卻),能夠迅速降低樣品溫度,提高生產(chǎn)效率并減少熱處理對材料結(jié)構(gòu)的影響。

2. 精確的溫度控制

PID智能控溫系統(tǒng):提供高精度的溫度控制,通常溫度波動范圍在±1℃以內(nèi),支持多段程序升溫曲線設(shè)置,適應(yīng)復(fù)雜的工藝需求。

實時監(jiān)控:使用熱電偶或紅外測溫儀實時監(jiān)測樣品表面溫度,確保溫度分布均勻一致。

3. 氣氛控制

多種氣氛選擇:支持真空、惰性氣體(如氮?dú)?、氬氣)、還原性氣體(如氫氣)等多種氣氛條件,滿足不同材料的快速熱處理需求。

可選配精確流量控制系統(tǒng):通過質(zhì)量流量控制器(MFC)精確調(diào)節(jié)反應(yīng)氣體的流量,確?;瘜W(xué)反應(yīng)的最佳條件。

4. 自動化程度高

自動進(jìn)出料系統(tǒng)(可選):實現(xiàn)物料的連續(xù)進(jìn)料和出料,減少人工干預(yù),提高生產(chǎn)效率。

觸摸屏界面:直觀易用的操作界面,便于用戶輸入?yún)?shù)、啟動測試和查看結(jié)果。

數(shù)據(jù)記錄與分析:實時監(jiān)控系統(tǒng),方便用戶追蹤生產(chǎn)過程,并自動記錄關(guān)鍵參數(shù),便于后續(xù)數(shù)據(jù)分析和質(zhì)量控制。

5. 安全防護(hù)措施

過溫保護(hù)裝置:當(dāng)檢測到異常高溫時,系統(tǒng)會自動報警并切斷電源,防止設(shè)備損壞。

緊急停止按鈕:確保操作人員的安全。

氣體泄漏報警系統(tǒng):保障實驗環(huán)境的安全(如果需要使用特殊氣氛)。

設(shè)備名稱

快速蒸發(fā)燒結(jié)爐

規(guī)格型號

HR1200-110/20TP2W

供電電源

AC380V 50HZ

額定功率

17KW

控溫精度

±1℃

爐膛加熱元件

6支短波紅外線加熱孿管23*11*300mm

保溫管道加熱元件

陶瓷外絲加熱管30*50*350mm

傳感器類型

爐膛控溫:K型熱電偶φ1*350mm

腔內(nèi)熱電偶:K型鎧裝熱電偶φ8*500mm

爐管規(guī)格

石英管φ110*900mm

內(nèi)管石英管φ80*3*445mm

升華區(qū)額定溫度

1100℃(常用溫度200-600℃)

預(yù)熱溫區(qū)溫度

600℃(常用溫度200-550℃)

推薦升溫速率

≤10℃/min

爐膛溫區(qū)尺寸

Φ170*200mm

爐體尺寸

1440*高516*深505mm

爐體重量

87KG

控制系統(tǒng)

1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置:動態(tài)顯示設(shè)置曲線,設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線,每條工藝曲線可自由設(shè)置;

2、可預(yù)約燒結(jié),實現(xiàn)無人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié);

3實時顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù),并可導(dǎo)出實現(xiàn)無紙記錄;

4具有實現(xiàn)遠(yuǎn)程操控,實時觀測設(shè)備狀態(tài);

5、溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結(jié)全程進(jìn)行非線性修正。

密封系統(tǒng)


加熱元件


短波紅外線加熱孿管


弱腐蝕性氣體預(yù)熱器

(可選配)


通體采用316L材料,對于各種氣體以及腐蝕性氣體的預(yù)加熱處理,滿足特殊的工藝需求,最高溫度達(dá)600℃。

設(shè)備使用注意事項

1.設(shè)備爐膛溫度≥300℃時,移動爐膛后,禁止觸碰原爐膛所在位置的石英管,避免受到傷害;

2.設(shè)備爐膛溫度≥300℃時,禁止打開爐膛,避免受到傷害;

3.設(shè)備使用時,爐管內(nèi)壓力不得超過0.125MPa(絕對壓力),以防止壓力過大造成設(shè)備損壞;

4.真空下使用時,設(shè)備使用溫度不得超過800℃。

5.供氣鋼瓶內(nèi)部氣壓較高,向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在選購試驗用小壓力減壓閥,

減壓閥量程為0.01MPa-0.15MPa,使用時會更加精確安全。

6.當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓 相當(dāng),保持在常壓狀態(tài);

7.高純石英管的長時間使用溫度≦1100℃

8.加熱的實驗時,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若絕對壓力表讀數(shù)大于0.15MPa,必須立刻打開排氣端閥門,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂等)。

服務(wù)與支持

一年有限保修,提供終身支持(保修范圍內(nèi)不包括易耗部件,例如處理管和O形圈,請在下面的相關(guān)產(chǎn)品處訂購更換件)。

應(yīng)用領(lǐng)域:

半導(dǎo)體工業(yè):用于晶圓退火、氧化物生長、離子注入后的激活等快速熱處理步驟。

新能源:為鋰離子電池電極材料、燃料電池催化劑載體等提供高效能涂層或燒結(jié)處理。

光學(xué)器件:制備抗反射涂層、增透膜等,提升光學(xué)元件的性能。

陶瓷與金屬粉末冶金:用于快速燒結(jié)陶瓷或金屬粉末,形成致密且高性能的材料。

科研實驗:在實驗室中進(jìn)行新材料開發(fā)和性能測試,探索新型熱處理技術(shù)。

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