1200℃旋轉(zhuǎn)擺振CVD包覆加熱爐
發(fā)布時(shí)間： 2025-07-22 18:20:51 瀏覽次數(shù)：238
1200℃旋轉(zhuǎn)擺振自動(dòng)進(jìn)出料CVD（化學(xué)氣相沉積）包覆加熱爐是一種高度集成的先進(jìn)設(shè)備，專門設(shè)計(jì)用于在嚴(yán)格控制的條件下進(jìn)行高質(zhì)量材料表面涂層。該設(shè)備不僅具備高溫處理能力，還結(jié)合了旋轉(zhuǎn)、擺振和自動(dòng)進(jìn)出料功能，確保涂層均勻且高效，適用于新材料開發(fā)、半導(dǎo)體制造、光學(xué)器件制備等多個(gè)領(lǐng)域。
 | 主要特點(diǎn) 1. 溫度控制 高溫穩(wěn)定性：能夠穩(wěn)定維持在1200℃的高溫環(huán)境，適用于多種材料的CVD過程。 PID智能控溫系統(tǒng)：提供高精度的溫度控制，通常溫度波動(dòng)范圍在±1℃以內(nèi)，支持多段程序升溫曲線設(shè)置，適應(yīng)復(fù)雜的工藝需求。 2. 旋轉(zhuǎn)與擺振功能 旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)：樣品臺(tái)或反應(yīng)室可以圍繞中心軸旋轉(zhuǎn)，確保氣體分布均勻，促進(jìn)涂層厚度的一致性。 擺振振動(dòng)：除了旋轉(zhuǎn)外，還配備了擺振裝置，使樣品在三維空間內(nèi)輕微振動(dòng)，進(jìn)一步提高涂層的均勻性和致密性。 3. 自動(dòng)進(jìn)出料系統(tǒng) 自動(dòng)化操作：配備自動(dòng)進(jìn)出料系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)物料的連續(xù)進(jìn)料和出料，減少人工干預(yù)，提高生產(chǎn)效率。 安全可靠：自動(dòng)進(jìn)出料系統(tǒng)采用先進(jìn)的機(jī)械臂或傳送帶技術(shù)，確保操作的安全性和可靠性。 靈活性：可根據(jù)不同批次的樣品尺寸和形狀進(jìn)行調(diào)整，適應(yīng)多樣化的實(shí)驗(yàn)需求。 4. 氣氛控制 多種氣氛選擇：支持真空、惰性氣體（如氮?dú)?、氬氣）、還原性氣體（如氫氣）等多種氣氛條件，滿足不同材料的CVD需求。 可選配精確流量控制：通過質(zhì)量流量控制器（MFC）精確調(diào)節(jié)反應(yīng)氣體的流量，確?；瘜W(xué)反應(yīng)的最佳條件。 5. 智能化控制系統(tǒng) 觸摸屏界面：直觀易用的操作界面，便于用戶輸入?yún)?shù)、啟動(dòng)測試和查看結(jié)果。 數(shù)據(jù)記錄與分析：實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)，方便用戶追蹤生產(chǎn)過程，并自動(dòng)記錄關(guān)鍵參數(shù)，便于后續(xù)數(shù)據(jù)分析和質(zhì)量控制。 遠(yuǎn)程監(jiān)控與管理：支持遠(yuǎn)程連接，可通過互聯(lián)網(wǎng)對設(shè)備進(jìn)行監(jiān)控和管理，提升工作效率。 6. 安全防護(hù)措施 過溫保護(hù)裝置：當(dāng)檢測到異常高溫時(shí)，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)報(bào)警并切斷電源，防止設(shè)備損壞。 緊急停止按鈕：確保操作人員的安全。 | ||
設(shè)備名稱 | 1200℃旋轉(zhuǎn)擺振CVD包覆加熱爐 | ||
規(guī)格型號(hào) | NBD-RT1200-100T2DF2LN | ||
供電電源 | AC380V 50HZ | ||
額定功率 | 4.5KW | ||
溫區(qū)數(shù)量 | 單溫雙控 | ||
控溫精度 | ±1℃ | ||
加熱元件 | 合金電阻絲 | ||
傳感器類型 | K型熱電偶φ2*420mm | ||
Tmax | 1200℃ | ||
長期工作溫度 | 1100℃ | ||
升溫速率 | 1℃/H-20℃/Min | ||
爐膛溫區(qū)尺寸 | Φ150*440（220+220）mm | ||
爐體傾斜角度 | -5-20° | ||
爐管規(guī)格 | 60*3*1000 中間100*3*355/380,內(nèi)接3只20*3*340刮片 | ||
爐管旋轉(zhuǎn)速度 | 1-10rpm | ||
送料速度 | 1-25ml/min（粉狀料） | ||
最大送料粒徑 | ＜φ0.1mm | ||
進(jìn)出料罐容積 | 2L | ||
浮子流量計(jì) | 0.1-0.8L/min | ||
爐體尺寸 | 長1763*高1683*深795mm | ||
爐體重量 | 約272KG | ||
控制系統(tǒng) | | 1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置：動(dòng)態(tài)顯示設(shè)置曲線，設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設(shè)置； 2、可預(yù)約燒結(jié)，實(shí)現(xiàn)無人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié)； 3、實(shí)時(shí)顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù)，并可導(dǎo)出實(shí)現(xiàn)無紙記錄； 4、具有實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操控，實(shí)時(shí)觀測設(shè)備狀態(tài)； 5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結(jié)全程進(jìn)行非線性修正。 | |
爐膛細(xì)節(jié) |  | 帶有揚(yáng)料板的變徑石英管 | |
弱壓力測量與監(jiān)控 腐蝕性氣體預(yù)熱器 （可選配） |  | 通體采用316L材料，對于各種氣體以及腐蝕性氣體的預(yù)加熱處理，滿足特殊的工藝需求，最高溫度達(dá)600℃。 | |
加熱元件 |  | 合金電阻絲 | |
壓力測量與監(jiān)控 |  | 采用機(jī)械壓力表，表外殼為氣密型結(jié)構(gòu)，能有效保護(hù)內(nèi)部機(jī)件免受環(huán)境影響和雜物侵入，同時(shí)具有較強(qiáng)的耐腐蝕和耐高溫的能力 | |
供氣系統(tǒng) |  | 采用浮子流量計(jì)控制氣體流速，與設(shè)備一體化，且出廠前已進(jìn)行漏氣測試工作。 | |
服務(wù)與支持 | 一年有限保修，提供終身支持（保修范圍內(nèi)不包括易耗部件，例如處理管和O形圈，請?jiān)谙旅娴南嚓P(guān)產(chǎn)品處訂購更換件）。 | ||
應(yīng)用領(lǐng)域
- 半導(dǎo)體工業(yè)：用于制備高純度硅片、氮化鎵等半導(dǎo)體材料的表面涂層。
- 新能源：為鋰離子電池電極材料、燃料電池催化劑載體等提供高效能涂層。
- 光學(xué)器件：制備抗反射涂層、增透膜等，提升光學(xué)元件的性能。
- 航空航天：用于制造耐高溫、耐磨蝕的航空發(fā)動(dòng)機(jī)葉片、渦輪盤等關(guān)鍵部件。
- 科研實(shí)驗(yàn)：在實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行新材料開發(fā)和性能測試，探索新型涂層技術(shù)。
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