恒壓控制系統(tǒng)

發(fā)布時間: 2025-05-08 18:59:19    瀏覽次數(shù):348

諾巴迪研發(fā)的恒壓控制系統(tǒng)采用的是變頻控制真空泵的原理,變頻真空泵可以自動控制抽氣速率,進而獲得腔室壓力的精密測量和恒壓控制,與我司的管式爐/鍍膜儀等設備相結合,實現(xiàn)CVD、PECVD等工藝壓力恒定的精確控制,整體采用國際先進制造工藝,并且從美學藝術角度出發(fā),根據(jù)人體安全的角度進行設計,廣泛用于擴散、氧化、外延、CVD、等離子濺射以及鍍膜工藝、混氣配氣系統(tǒng)及其它分析儀器中。


產(chǎn)品詳情
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設備特點:

1、高真空恒壓;

2、獨有的恒壓控制系統(tǒng),采用變頻控制真空泵保證爐管內(nèi)維持一定的負壓;

3、控制穩(wěn)定可靠,操作方便,安全防護措施完善

4、設備采用數(shù)顯真空計和壓力傳感器進行檢測,保壓效果更好;

5、具有物聯(lián)網(wǎng)功能(WIFI),可通過手機、電腦遠程對設備進行監(jiān)控,操作。

6、數(shù)據(jù)存儲功能,可保存重要參數(shù),時長達30天之久(每天開機8小時)。

7、聯(lián)網(wǎng)功能,通過RJ45接口,采用TCP/IP協(xié)議,可以讓系統(tǒng)與上位機相連(上位機需安裝相應軟件)。

設備名稱

恒壓控制系統(tǒng)

規(guī)格型號

恒壓控制系統(tǒng)NBD-HY14CB

供電電源

單相220V 50HZ  800W

額定功率

1KW

真空泵型號

變頻真空泵 DRV16C單相 KF25(帶油霧過濾器)

壓力傳感器

0-100Kpa

數(shù)顯真空計

PG800K 1Pa-10000Pa

壓力控制范圍

壓力穩(wěn)定范圍200pa~50Kpa(對應進氣量為200m1~17L)

測量精度

±1pa數(shù)顯真空計控制

壓力控制范圍

10Kpa-50Kpa壓力傳感器控制6L/min-17L/min的進氣量下

測量精度

精度可控制范圍±1%壓力傳感器控制

設備占地尺寸

650*高420*深450mm(不含泵尺寸:300*280*370mm)

重量

40KG

服務支持

一年有限保修,提供終身支持(保修范圍內(nèi)不包括易耗部件,例如處理管和O形圈,請在下面的相關產(chǎn)品處訂購更換件)。
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