發(fā)布時(shí)間： 2024-12-17 17:12:47 瀏覽次數(shù)：1082
設(shè)備簡(jiǎn)介：
真空氣氛爐是一種專門設(shè)計(jì)用于在高真空或特定氣氛環(huán)境下進(jìn)行材料處理、熱處理和化學(xué)反應(yīng)的設(shè)備，廣泛應(yīng)用于冶金、半導(dǎo)體制造、新材料研發(fā)、化工等領(lǐng)域。該設(shè)備通過精確控制氣氛條件（如真空、惰性氣體、還原性氣體等）和溫度，確保材料在無(wú)污染條件下完成高效的處理過程。真空氣氛爐能夠顯著提高材料的質(zhì)量和性能，適用于對(duì)環(huán)境要求極高的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)過程。
 | 設(shè)備特點(diǎn)： 1. 高純度環(huán)境 ?高效真空泵：可選配高效真空泵系統(tǒng)，能夠在短時(shí)間內(nèi)將爐內(nèi)抽至高真空狀態(tài)（通?？蛇_(dá)10^-6 Torr），確保處理過程中無(wú)氧無(wú)污染。 ?氣氛控制系統(tǒng)：可以處理各種氣氛環(huán)境，如真空、惰性氣體（氬氣、氮?dú)猓?、還原性氣體（氫氣）等，滿足不同工藝需求。 2.均勻加熱 ?溫控精度：采用先進(jìn)的PID溫控系統(tǒng)，支持多段程序控制，確保溫度控制精度高，可重復(fù)性好。 ?溫度均勻性：通過優(yōu)化加熱元件布局和溫控系統(tǒng)，確保爐內(nèi)溫度分布均勻，避免局部過熱或冷點(diǎn)。 3. 精準(zhǔn)氣氛控制 ?氣氛切換裝置：允許在不同氣氛條件下進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，如從一種氣氛切換到另一種氣氛。 ?氣體流量控制器：用于精確控制氣體流量和比例，確保氣氛環(huán)境的穩(wěn)定性和一致性。 ?壓力調(diào)節(jié)：部分型號(hào)配備壓力調(diào)節(jié)裝置，確保氣氛環(huán)境的壓力保持在設(shè)定范圍內(nèi)。 4. 安全設(shè)計(jì) ?多重保護(hù)措施：內(nèi)置超溫保護(hù)、過流保護(hù)、緊急停機(jī)按鈕等多重安全保護(hù)措施，確保操作安全。 ?泄漏檢測(cè)：配備壓力和氣體泄漏檢測(cè)裝置，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)泄漏情況，確保安全。 ?防爆設(shè)計(jì)：對(duì)于需要使用易燃?xì)怏w（如氫氣）的情況，具備防爆設(shè)計(jì)，確保極端條件下的安全性。 5. 操作便捷 ?觸摸屏控制界面：配備觸摸屏控制界面，支持?jǐn)?shù)據(jù)記錄和遠(yuǎn)程監(jiān)控，操作簡(jiǎn)便。 ?用戶友好：具有友好的用戶界面，易于操作和維護(hù)。 ?預(yù)設(shè)程序：提供多種預(yù)設(shè)加熱程序和氣氛條件，方便用戶根據(jù)具體需求選擇合適的工藝參數(shù)。 | |||||||
設(shè)備名稱 | 真空氣氛爐 | |||||||
規(guī)格型號(hào) | VBF-1200（200*200*300） | |||||||
供電電源 | 三相380V 50HZ | |||||||
額定功率 | 45KW | |||||||
| 溫區(qū)數(shù)量 | 單溫單控 | |||||||
| 傳感器類型 | S型熱電偶φ8*300mm | |||||||
| 浮子流量計(jì) | 20-200L/min | |||||||
| Tmax | 1300℃（使用溫度室溫下1200℃） | |||||||
| 爐膛材料 | 304不銹鋼板+鉬板 | |||||||
| 爐膛尺寸 | φ392*410mm | |||||||
| 有效工作尺寸 | 長(zhǎng)200*高200*深300mm | |||||||
| 推薦升溫速率 | ≤10℃/min | |||||||
| 真空泵 | BSV90 KF40接口（極限真空4Pa） | |||||||
| 分子泵 | 進(jìn)氣口CF200，出氣口KF40（極限真空5*10^-6Pa） | |||||||
| 整機(jī)極限真空 | 6.7*10^-3Pa（空爐、冷態(tài)） | |||||||
爐體尺寸 | 長(zhǎng)1835*高2040*深1625mm | |||||||
水冷機(jī)尺寸 | 長(zhǎng)706*高1235*深1035mm | |||||||
控制系統(tǒng) |
| 1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置：動(dòng)態(tài)顯示設(shè)置曲線，設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設(shè)置； 2、可預(yù)約燒結(jié)，實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié)； 3、實(shí)時(shí)顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù)，并可導(dǎo)出實(shí)現(xiàn)無(wú)紙記錄； 4、具有實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操控，實(shí)時(shí)觀測(cè)設(shè)備狀態(tài)； 5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結(jié)全程進(jìn)行非線性修正。 | ||||||
溫度精度 | ±1℃ | |||||||
加熱元件 |
| 鉬帶加熱爐膛 | ||||||
壓力測(cè)量與監(jiān)控 |
| 采用浮子流量計(jì)控制氣體流速，與設(shè)備集成為一體，且出廠前已進(jìn)行漏氣測(cè)試工作。
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供氣系統(tǒng) |  | 采用機(jī)械壓力表，表外殼為氣密型結(jié)構(gòu)，能有效保護(hù)內(nèi)部機(jī)件免受環(huán)境影響和雜物侵入，同時(shí)具有較強(qiáng)的耐腐蝕和耐高溫的能力。 | ||||||
弱腐蝕性氣體預(yù)熱器 （可選配） |  | 通體采用316L材料，對(duì)于各種氣體以及腐蝕性氣體的預(yù)加熱處理，滿足特殊的工藝需求，最高溫度達(dá)600℃。 | ||||||
凈重 | 約1215KG | |||||||
設(shè)備使用注意事項(xiàng) | 1.設(shè)備使用時(shí)，絕對(duì)壓力表讀數(shù)不要大于0.15MPa，以防止壓力過大造成設(shè)備損壞； 2.真空下使用時(shí)，設(shè)備使用溫度不得超過800℃。 | |||||||
服務(wù)支持 | 一年有限保修，提供終身支持（保修范圍內(nèi)不包括易耗部件，例如處理管和O形圈，請(qǐng)?jiān)谙旅娴南嚓P(guān)產(chǎn)品處訂購(gòu)更換件）。 | |||||||
應(yīng)用領(lǐng)域
1. 冶金：用于金屬粉末燒結(jié)、合金化處理等。
2. 半導(dǎo)體制造：用于電子元件的制造和測(cè)試，如硅片退火、擴(kuò)散等。
3. 新材料研發(fā)：用于新型材料的合成和處理，如納米材料、功能陶瓷等。
4. 化工：用于催化劑制備、化學(xué)反應(yīng)等。
5. 科研與教育：適用于高校、研究所等科研單位進(jìn)行材料科學(xué)、化學(xué)工程等領(lǐng)域的研究和教學(xué)實(shí)驗(yàn)。
推薦產(chǎn)品
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